本次出機(jī)的電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備型號(hào)為SEpA-i515，面向300mm硅片工藝制程，除具備該系列產(chǎn)品慣有的高靈敏度電性和物理缺陷檢測(cè)、有效解決28nm及以上良率問題、自主創(chuàng)新的高性能缺陷檢測(cè)引擎（DNA數(shù)據(jù)庫(kù)）、基于深度學(xué)習(xí)的缺陷自動(dòng)分類（ADC）算法等產(chǎn)品特點(diǎn)外，東方晶源研發(fā)團(tuán)隊(duì)還在上一代產(chǎn)品的基礎(chǔ)上優(yōu)化升級(jí)，使SEpA-i515具有更高的TPT和更優(yōu)的平臺(tái)設(shè)計(jì)，設(shè)備運(yùn)行效率、性能指標(biāo)均有大幅提升。值得一提的是，上一代產(chǎn)品SEpA-i505 已經(jīng)在國(guó)內(nèi)頭部晶圓代工廠量產(chǎn)一年，產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性得到充分驗(yàn)證。

另一臺(tái)交付的產(chǎn)品為關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備，型號(hào)為SEpA-c410，面向300mm硅片工藝制程，通過先進(jìn)的電子束成像系統(tǒng)和高速硅片傳輸方案，搭配精準(zhǔn)的量測(cè)算法，可實(shí)現(xiàn)高重復(fù)精度、高分辨率及高產(chǎn)能的關(guān)鍵尺寸量測(cè)。該設(shè)備自去年6月底進(jìn)入國(guó)內(nèi)頭部晶圓代工廠以來產(chǎn)線驗(yàn)證進(jìn)展順利，階段性驗(yàn)收成果獲得客戶認(rèn)可。

東方晶源電子束量測(cè)檢測(cè)設(shè)備，依托所承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)（02專項(xiàng)）——電子束硅片圖形缺陷檢測(cè)設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，經(jīng)過數(shù)年攻堅(jiān)克難，突破多項(xiàng)核心關(guān)鍵技術(shù)，從零部件到整機(jī)設(shè)計(jì)制造，均具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。目前，兩款設(shè)備開啟批量交付模式，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程取得豐碩成果。

此次設(shè)備交付的客戶所在地上海在我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)具有舉足輕重的地位，目前已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)綜合水平高、產(chǎn)業(yè)鏈完整、產(chǎn)業(yè)生態(tài)環(huán)境好的集聚地之一。東方晶源十分看重在上海的發(fā)展和布局，繼計(jì)算光刻軟件（OPC）進(jìn)入上海頭部晶圓代工企業(yè)后，硬件產(chǎn)品正式登陸上海。為更好的服務(wù)以上海為核心的長(zhǎng)三角客戶，東方晶源已于去年8月份在上海設(shè)立子公司，形成北京總部、深圳子公司和上海子公司為核心的三地布局，推動(dòng)企業(yè)貼近產(chǎn)業(yè)前沿高地，為集成電路制造企業(yè)帶去優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)，更好的與上下游企業(yè)攜手推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的同時(shí)，構(gòu)筑企業(yè)自身競(jìng)爭(zhēng)壁壘。

東方晶源自成立以來，專注于芯片制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的良率控制和提升領(lǐng)域，形成以計(jì)算光刻軟件（OPC）、電子束量測(cè)檢測(cè)裝備硬件為核心的產(chǎn)品矩陣，并向更多相關(guān)領(lǐng)域積極布局。硬件方面，東方晶源已著手電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備DR-SEM（Defect Review SEM）的研發(fā)工作，進(jìn)一步夯實(shí)在國(guó)內(nèi)電子束檢測(cè)領(lǐng)域領(lǐng)先的市場(chǎng)地位和核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)。軟件方面，光刻工藝嚴(yán)格仿真軟件PanSim已經(jīng)在客戶側(cè)進(jìn)行驗(yàn)證，預(yù)計(jì)7月底release V1.0版本。未來，東方晶源將立足通用軟件平臺(tái)和檢測(cè)裝備兩大領(lǐng)域，尋求橫縱向發(fā)展機(jī)遇，為客戶提供更加多樣化的產(chǎn)品，向著國(guó)內(nèi)集成電路領(lǐng)域良率管理領(lǐng)導(dǎo)者的目標(biāo)奮進(jìn)。